目前為止，我們討論了濾光片的直接可測量的光學性能，但是仍有一些物體的自然屬性相當難以測量，這些與薄膜和基底的質量和加工有關。對于任何光學組件，基底都是會被詳細描述的，如表面的面形、拋光程度和允許的玷污、光潔度等，這里我們不應該進一步考慮基底。有一個指標MIL-E13830A，特別是在美國被廣泛應用，這為包括基底在內的光學元件提供了一套有效的標準。
鍍膜的質量可以通過是否存在缺陷來衡量，如針孔、污點、濺射標記及未鍍膜區(qū)域。針孔的重要性主要有兩個原因。
**，他們實際上時很小的未鍍膜區(qū)域或者部分未鍍膜區(qū)域，這些區(qū)域將會使額外的光透射截止區(qū)，從而降低濾光片的整體性能。
第二，特別是對于可見光區(qū)的濾光片，這些不足會影響整體的美觀。實際上，與它們在實際中對性能的影響相比，它們使外觀看起來更糟。除了單純的外觀判斷，我們可以根據(jù)一定尺寸單位面積上給定的**數(shù)值來確定針孔的允許大小，這個**數(shù)值是通過計算濾光片的截止度降低到一個給定數(shù)值時的針孔數(shù)目。
為了計算這一數(shù)值，必須對將會隨時用到的濾光片的**小面積進行假定。這主要取決于實際應用，但是當在這一方面缺少明確的信息時，合適的數(shù)值是5mm×5mm。很明顯，這一面積越小，**針孔的數(shù)目便越小。當然，在任何濾光片中，針孔的實際計算將涉及高昂的勞動量，在實際中將濾光片與參考樣品相比較，對于可見光濾光片進行測量常常是視覺上的。
一個含有燈箱的簡單固定支架可以很容易的搭建起來，在其上面放置很多濾光片，可以和參考樣品比較判斷是否符合要求。對于透明基底上的紅外濾光片，這一方法仍然可以使用，但是對于在不透明的基底上的濾光片，則更易的是測量其實際的截止性能。濺射痕跡是由蒸發(fā)源噴出的材料碎片造成的。
一般而言，它對光學性能幾乎沒有影響，除非數(shù)量巨大。一個重要風險是材料碎片可能掉落而出現(xiàn)針孔。有時濺射過程可能會引起節(jié)瘤的增長從而帶來相關問題，或者如果**的濺射碎屑存在，散射損耗可能會增加。就像控制針孔一樣，這種情況是可以控制的，但是因為鏡面反射光學性能幾乎不會被影響到，除非濺射痕跡的數(shù)量非常大，決定允許值的方式常常是主觀的。如果濺射產(chǎn)生了針孔，這些針孔將單獨處理。
通常指標中會陳述：無裸眼可見的濺射痕跡，但是這種描述非常模糊，特別是當檢查員沒有光學經(jīng)驗時。當用戶的檢查員用鏡片來輔助裸眼進行觀測時，用戶和***之間的分歧會產(chǎn)生。當它能夠像測試針孔一樣采用同樣**的方法時，**的用途是將測試與雙方商定的參考樣品相關聯(lián)。
